半導(dǎo)體真空泵-半導(dǎo)體真空泵系統(tǒng)-廈門太星機(jī)電供應(yīng)服務(wù)

廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?

1.極限真空

如果對一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機(jī)械泵的極限壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.大反壓強(qiáng)

大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)大值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動理論來推算出來。

4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?

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由于擴(kuò)散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢澹@樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。

廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。

（1）目前國內(nèi)生擴(kuò)散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對提和質(zhì)量進(jìn)行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進(jìn)工作，使用戶配套方便。（2）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數(shù)，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過熱保護(hù)裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護(hù)。可自動切斷和復(fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。（4）規(guī)定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。（5）給出合適的前級泵的容量。（6）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。（8）用微機(jī)控制運(yùn)行和故障診斷。（9）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。（10）給出各種泵的返油率限定值，進(jìn)一步降低返油率，擴(kuò)大油擴(kuò)散泵的用途。油擴(kuò)散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無運(yùn)動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。