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真空度1400L/s ~ 3000L/s抽速CXF-200/1401無油磁懸浮分子泵

簡短描述：
電磁軸承也稱為“主動磁懸浮熊”，由磁浮軸承、傳感器和控制系統組成。這種設計具有動態響應和及時調整，軸系高速且運行可靠。
磁懸浮分子泵是借助磁力支撐軸系的泵。

系列磁懸浮分子泵是KYKY為滿足現代半導體制造、芯片制造、工業電鍍和科學儀器等領域的應用要求而開發的真空發生設備。

技術：
?磁浮軸承控制技術：采用的電磁是5軸磁懸浮。該設計采用基于國際控制理論的動態主動閉路磁懸浮控制技術，具有動態響應和及時調整，保證了高速軸系懸浮穩定、運行可靠的顯著優勢。
?電機驅動控制技術：串聯磁懸浮泵采用高速直流電機和伺服控制系統，使電機具有能量并自動補償軸系轉速，從而實現動能穩定啟動、可靠運行和動能自動調節功能。
?碳纖維復合轉子技術：串聯磁懸浮分子泵的渦輪轉子由高強度鋁合金和輕質碳纖維復合而成。與所有鋁合金轉子相比，渦輪轉子具有重量減輕大、強度提高大的特點，實現了高轉速、高性能、高可靠性的目標。
?耐腐蝕技術：串聯磁懸浮分子泵腔室中的零件表面經過特殊工藝處理，使表面能夠長期抵抗半導體制造過程中腐蝕性氣體引起的腐蝕。此外，在泵的軸上完全填充N2等惰性氣體，以保護泵中的低真空部件，從而實現長時間穩定排出腐蝕性氣體的功能。
?加熱溫度控制系統：系列磁懸浮分子泵配有電加熱器和溫度控制器，使冷卻水、氣骨加熱、電加熱和保護氣體攜帶的熱量在運行過程中得到監測和控制，泵內溫度可長期保持在一定值，部分氣態物質常溫下不轉化為固體物質，不沉積在泵內，并且可以滿足蝕刻等特殊工藝的要求。