CXF-320/3001型磁懸浮分子泵
簡短描述:
電磁軸承又稱“有源磁懸浮軸承”，由磁軸承、傳感器和控制系統組成。本設計具有動態響應及時調整，軸系高速運轉可靠等特點。
磁懸浮分子泵是依靠磁力支撐軸系的泵。
系列磁懸浮分子泵是KYKY公司為滿足現代半導體制造、芯片制造、工業電鍍、科學儀器等領域的應用需求而開發的真空產生設備。
優點:
1. 運行時零摩擦，功耗低
2. 易于獲得真正清潔的高真空和超高真空，無需潤滑泵
3.能長期抽吸腐蝕性氣體
4. 由于精密陶瓷球保護軸承，安全性高，使用壽命長
5. 具有突然斷電時的發電功能
6. 無摩擦
7. 無污染
8. 免維護
9. 低振動
10. 安裝在renhe方向。
應用程序:
系列磁懸浮分子泵主要應用于半導體制造、夾片制造、工業電鍍、科學儀器等領域，特別適用于萃取蝕刻、CVD、PVD、離子注入等腐蝕性氣體及常溫下易凝固氣體。
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