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分子泵
CXF-320/3001型磁懸浮分子泵
CXF-320/3001型磁懸浮分子泵

簡短描述:

電磁軸承又稱有源磁懸浮軸承,由磁軸承、傳感器和控制系統組成。本設計具有動態響應及時調整,軸系高速運轉可靠等特點。

磁懸浮分子泵是依靠磁力支撐軸系的泵。

系列磁懸浮分子泵是KYKY公司為滿足現代半導體制造、芯片制造、工業電鍍、科學儀器等領域的應用需求而開發的真空產生設備。

優點:

1. 運行時零摩擦,功耗低

2. 易于獲得真正清潔的高真空和超高真空,無需潤滑泵

3.能長期抽吸腐蝕性氣體

4. 由于精密陶瓷球保護軸承,安全性高,使用壽命長

5. 具有突然斷電時的發電功能

6. 無摩擦

7. 無污染

8. 免維護

9. 低振動

10. 安裝在renhe方向。

應用程序:

系列磁懸浮分子泵主要應用于半導體制造、夾片制造、工業電鍍、科學儀器等領域,特別適用于萃取蝕刻、CVD、PVD、離子注入等腐蝕性氣體及常溫下易凝固氣體。

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